VOCs废气处理设备的三阶段主要是：高效过滤工艺段+微波光催化+高级气相氧化工艺段+同步解析工艺段。

阶段一：高效过滤工艺段：主要是除废气中的漆雾等颗粒物以免玷污灯管和催化床保证微波光氧催化+高级气相氧化工艺段能更高效率运行。

阶段二：微波光催化+高级气相氧化工艺段：主要是除去有机废气利用80℃左右低温高效分解

阶段三：同步解析工艺段：这是VOCs废气处理设备的最后一阶段，主要是利用吸附残余臭氧和残余的VOC进行深度氧化分解，让净化效果更彻底。

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